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安捷倫 Agilent

安捷倫 Agilent CombiNEG 40-400 吸氣劑復合型離子泵

2022-10-11 安捷倫 Agilent 3038
安捷倫 Agilent CombiNEG 40-400 吸氣劑復合型離子泵Agilent CombiNEG 40-400 吸氣劑復合型離子泵在 40 L/s VacIon 泵中集成了...

安捷倫 Agilent CombiNEG 40-400 吸氣劑復合型離子泵


安捷倫 Agilent CombiNEG 40-400 吸氣劑復合型離子泵


Agilent CombiNEG 40-400 吸氣劑復合型離子泵在 40 L/s VacIon 泵中集成了大容量 D400-2 非蒸散型吸氣劑泵芯。吸氣劑泵可為活性氣體提供超高抽速(高達 400 L/s 氫氣),而三極離子泵可為氬氣和其他殘留惰性氣體提供較高抽速。經優化的磁場和真空燒制工藝進一步提高了性能,可最大程度減少低壓下的氣體逸出。內部防護罩可延長 NEG 的使用壽命。


這是唯一一款可處理大量惰性氣體的泵,能夠以最高抽速和最大容量處理甲烷、氬氣和氦氣。這款泵非常適合需要在超高和極高真空狀態下達到極高抽速的高要求應用。


產品特性


三極離子泵抽氣單元可快速抽除惰性氣體,而吸氣劑泵可快速抽除活性氣體,二者結合可達到較高的組合抽速,縮短達到超高真空/極高真空狀態所需的時間

燒結吸氣劑泵的設計緊湊,可提供比質量較差的壓結末吸氣劑泵更出色的解決方案,并消除粉末進入系統的風險

配備 ConFlat 4.5 英寸非旋轉型法蘭以及用于吸氣劑泵的額外 ConFlat 2.75 英寸法蘭

可以選擇不同方向的真空穿導件,實現最大靈活性

無活動部件,確保在高靈敏度應用中無振動運行

低漏電流可提供穩定的真空壓力讀數

低磁場可最大程度減少系統干擾

在 > 400 °C 的條件下進行真空處理,并在真空下夾止,確保安裝前的清潔度和真空密封性


性能指標


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